凈化車間要考慮六個要素:一個品質(zhì)良好的凈化車間需以下各組成部分:
1.天花板系統(tǒng):包括吊桿、鋼梁、天花板格子。
2.空調(diào)系統(tǒng):包括壓差、過濾器系統(tǒng)。
3.隔墻工程:凈化窗戶(包括觀察窗)、凈化安全門。
4.地板:包括PVC防靜電地板、環(huán)氧樹脂地坪。
5.照明器具:凈化燈。
6.空調(diào)機。
浙江科潔凈化工程有限公司凈化工程分公司,是浙江以凈化彩鋼板.水電.暖通.工藝管道.潔凈地面施工的二級安裝企業(yè),公司集設(shè)計,調(diào)試,GMP檢測,維修,保養(yǎng)等一系列綜合服務(wù)公司,公司擁有凈化安裝行業(yè)工作經(jīng)驗豐富的專業(yè)施工隊伍,和數(shù)名專業(yè)工程師,歡迎您前來咨詢。
潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)客戶的加工工藝要求來確定,在滿足加工工藝的條件下,應(yīng)該考慮人的舒適感。隨著空氣潔凈度要求的提高,工藝對溫濕度的要求也越來越高,必須達(dá)到一定的溫濕度等級。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫,同時要求濕度值一般較低,因為人出汗以后,對產(chǎn)品將有污染,臺州無塵車間,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,無塵車間裝修,這種車間不宜超過25度。
無塵車間空氣凈化處理
一、各等級空氣潔凈度的空氣凈化處理,均應(yīng)采用初效、中效、高效空氣過濾器三級過濾。
注1:100,000級空氣凈化處理,可采用亞高效空氣過濾器代高效空氣過濾器。
二、確定集中式或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時,應(yīng)綜合考慮生產(chǎn)工藝特點和潔凈室空氣潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、潔凈室面積較大時,位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴(yán)格的潔凈室,宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
三、空調(diào)凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)合理利用回風(fēng),無塵車間設(shè)計,凡工藝過程產(chǎn)生大量有害物質(zhì)且局部處理不能滿足衛(wèi)生要求,或?qū)ζ渌ば蛴形:r,則不應(yīng)用回風(fēng)。
四、空調(diào)凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設(shè)置值班風(fēng)機的系統(tǒng)外,光電無塵車間,應(yīng)采取防止室外污染空氣通過新風(fēng)口參入潔凈室內(nèi)的防倒灌措施。
五、空氣過濾器的選用布置和安裝方式,應(yīng)符合下列要求:
1、初效空氣過濾器不應(yīng)選用浸油式過濾器。
2、中效空氣過濾器宜集中設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的正壓段。
3、高效空氣過濾器或亞高效空氣過濾器宜設(shè)置在凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)末端。
4、中效、亞高效、高效空氣過濾器宜按額定風(fēng)量選用。
5、阻力、效率相近的高效空氣過濾器宜設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)。
6、高效空氣過濾器安裝方式應(yīng)簡便可靠,易于檢漏和更換。
六、送風(fēng)機可按凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的總送風(fēng)量和總阻力值進(jìn)行選擇,中效、高效空氣過濾器的阻力宜接其初阻力的兩倍計算。
七、空調(diào)凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)如需電加熱時,應(yīng)選用管狀電加熱器,位置應(yīng)布置在高效空氣過濾器的上風(fēng)側(cè),并應(yīng)有防火安全措施。