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凈化車間施工過(guò)程中需要注意的方面：
1、首先確認(rèn)施工工程的設(shè)計(jì)圖紙和要求，形成合理的方案。各個(gè)部門之間要相互溝通，研究作業(yè)過(guò)程中必須注意的事項(xiàng)。
2、檢查施工過(guò)程中所有的用的材料，設(shè)備是否達(dá)到所需要的標(biāo)準(zhǔn)，檢查合格后方可使用。
3、施工過(guò)程中注意施工進(jìn)度及質(zhì)量，施工檢查記錄表和施工驗(yàn)收記錄應(yīng)及時(shí)填寫(xiě)，文件與工程要同步。
4、凈化車間施工過(guò)程要有先后順序，可以同時(shí)施工但是要注意彼此之間的關(guān)系，不能有什么材料就先施工那部分。
6、所有的材料應(yīng)該有防雨雪等措施，防止材料氧化腐朽，重要的器材要設(shè)置專門的保護(hù)區(qū)。
5、嚴(yán)格執(zhí)行施工管理制度，現(xiàn)場(chǎng)要做好安全防護(hù)以及所有施工人員的安全培訓(xùn)。
6、節(jié)能環(huán)保，在凈化車間施工過(guò)程中，運(yùn)輸、儲(chǔ)存、施工過(guò)程中，禁止嚴(yán)禁污染環(huán)境。
無(wú)塵車間生產(chǎn)對(duì)于濕度控制是非常重要的條件之一，無(wú)塵車間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對(duì)濕度。半導(dǎo)體無(wú)塵車間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
無(wú)塵室在安裝管道和線路的時(shí)候，如果需要焊接作業(yè)，應(yīng)該準(zhǔn)備好消防滅火設(shè)備和石棉板等，發(fā)生危險(xiǎn)情況，可以及時(shí)處理。在安裝管道和線路要嚴(yán)格安裝規(guī)范進(jìn)行施工，安裝后還需要測(cè)試安裝質(zhì)量，一般是使用水壓進(jìn)行試驗(yàn)，如果不允許使用水壓進(jìn)行測(cè)試，可以采用氣壓進(jìn)行測(cè)量，也應(yīng)該做好安全防護(hù)工作。如果和原有管道進(jìn)行連接，先要了解管道的特性，安裝工作應(yīng)該由專業(yè)的施工人員進(jìn)行操作，并配備消防滅火器材。如果管道輸送的是高純度的氣體和液體，嚴(yán)格按照規(guī)范進(jìn)行施工外，還需要對(duì)管道進(jìn)行清洗、吹掃后對(duì)純度進(jìn)行測(cè)試。
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