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光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
凈化車間的潔凈度級(jí)別通常分為：百級(jí)、千級(jí)、萬(wàn)級(jí)、十萬(wàn)級(jí)和三十萬(wàn)級(jí)。十萬(wàn)級(jí)凈化車間一般適用于電子儀器儀表、計(jì)算機(jī)房、半導(dǎo)體廠、印刷廠、汽車工業(yè)、航天工業(yè)、光刻和微機(jī)制造等行業(yè)中。十萬(wàn)級(jí)凈化車間的要求不僅僅是需要空氣潔凈度為十萬(wàn)級(jí)，還需要保證能達(dá)到除靜電的效果。在十萬(wàn)級(jí)凈化車間中，塵粒1大允許數(shù)≥0.5微米的粒子數(shù)不允許超過(guò)350萬(wàn)個(gè)；換氣次數(shù)：10-15次/小時(shí)；壓差：主車間相對(duì)相鄰房間≥5pa；溫度：冬季＞16℃±2℃；夏季小于26℃±2℃；相對(duì)濕度：45-65%（RH）；噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量：總送風(fēng)量的20%-30%；照度大于等于300Lux。
無(wú)塵車間的關(guān)鍵設(shè)計(jì)特性： 1、依據(jù)無(wú)塵車間制造的商品的類型、應(yīng)用狀況，明確設(shè)計(jì)無(wú)塵車間的操縱目標(biāo)及技術(shù)規(guī)定。如對(duì)微生物無(wú)塵車間，其操縱目標(biāo)是空氣中的塵粒、微生物；而不一樣商品或主要用途的無(wú)塵車間，對(duì)空氣潔凈室等級(jí)、空氣中帶有的微生物類型和濃度值、壓力差等的規(guī)定是不一樣的。 2、為保證無(wú)塵車間內(nèi)所務(wù)必的空氣潔凈度等級(jí)，無(wú)塵車間設(shè)計(jì)中涉及的每個(gè)技術(shù)專業(yè)設(shè)計(jì)均應(yīng)采用妥當(dāng)?shù)?、靠譜的技術(shù)對(duì)策，以降低或避免房間內(nèi)粉塵、滋長(zhǎng)微生物，降低或阻攔將顆粒/微生物或?qū)?huì)會(huì)導(dǎo)致交叉式環(huán)境污染的原材料帶到無(wú)塵車間內(nèi)，合理地將房間內(nèi)顆粒/微生物排出來(lái)，以降低或避免他們停留在無(wú)塵車間內(nèi)。針對(duì)因塵粒/微生物或原材料的交叉式環(huán)境污染會(huì)傷害產(chǎn)品品質(zhì)或生命安全時(shí)，還應(yīng)采用安全性、靠譜的技術(shù)對(duì)策避免感1染，如嚴(yán)控不一樣主要用途的無(wú)塵車間中間的負(fù)壓差，按規(guī)定有效地區(qū)劃空調(diào)凈化排風(fēng)系統(tǒng)軟件及其送風(fēng)系統(tǒng)軟件、家用新風(fēng)系統(tǒng)的妥當(dāng)設(shè)計(jì)等。 3、無(wú)塵車間設(shè)計(jì)是各工業(yè)生產(chǎn)設(shè)計(jì)技術(shù)規(guī)定的綜合性，特別是在是無(wú)塵車間的加工工藝設(shè)計(jì)、工程建筑設(shè)計(jì)、空氣清潔設(shè)計(jì)和各種各樣特別要求的設(shè)計(jì)技術(shù)的緊密協(xié)作、互相滲入和科學(xué)安排的綜合性設(shè)計(jì)。無(wú)塵車間應(yīng)保證依照生產(chǎn)流程、有效挑選油煙凈化器和設(shè)備、竭盡全力保持人1流和貨運(yùn)物流的暢順短捷、氣旋流型挑選恰當(dāng)、空調(diào)凈化系統(tǒng)設(shè)置有效、各種各樣特別要求的技術(shù)對(duì)策恰當(dāng)，無(wú)塵車間的平面圖、中央空調(diào)布局有效，保持靠譜經(jīng)濟(jì)形勢(shì)的無(wú)塵車間設(shè)備。
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