無(wú)塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響,即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。無(wú)塵車間所利用過濾器過濾空氣,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過此過濾器過濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,這些塵埃一旦擴(kuò)散便無(wú)法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。為了防止再次進(jìn)入和往返作業(yè)對(duì)無(wú)塵車間造成交叉污染,人員在作業(yè)中途和作業(yè)寬畢均應(yīng)按規(guī)定的順序退出無(wú)塵車間。
無(wú)塵車間的主要功能為室內(nèi)污染控制,沒有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。
無(wú)塵車間潔凈室氣流流型的設(shè)計(jì)應(yīng)符合下列規(guī)定:1、無(wú)塵車間潔凈室的氣流流型和送風(fēng)量應(yīng)符合下表所示的要求,空氣潔凈度等級(jí)要求嚴(yán)于4級(jí)時(shí),應(yīng)采用單向流,空氣潔凈度等級(jí)為4級(jí)-5級(jí)時(shí),應(yīng)采用單向流,空氣潔凈度等級(jí)為6級(jí)-9級(jí)時(shí),應(yīng)采用非單向流。2、無(wú)塵車間潔凈室工作區(qū)的氣流分布應(yīng)均勻3、無(wú)塵車間潔凈室工作區(qū)的氣流流速應(yīng)符合生產(chǎn)工藝要求。