光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
無(wú)塵車(chē)間的特性
1、無(wú)塵車(chē)間是空氣的潔凈度達(dá)到一定級(jí)別的可供人活動(dòng)和生產(chǎn)的空間,其功能是能控制微粒的污染。這表明無(wú)塵車(chē)間的潔凈不是一般的干凈,而是達(dá)到了一定的空氣潔凈度級(jí)別,在我國(guó)制藥行業(yè),凈化車(chē)間必須具有控制微粒污染、抵抗外界干擾的能力。
2、無(wú)塵車(chē)間是一個(gè)多功能的綜合整休,多功能體現(xiàn)在以下兩個(gè)方面:
(1)多專業(yè)--建筑、空調(diào)、凈化、純水、純氣。
(2)多參數(shù)--空氣潔凈度、細(xì)菌濃度以及空氣的量(風(fēng)量)、壓(壓力)、聲(噪聲)、光(照度)。
無(wú)塵車(chē)間在設(shè)計(jì)時(shí)一定要符合生產(chǎn)工藝過(guò)程的要求。不管是上工序還是下工序,兩者間的運(yùn)輸距離要短,盡量避免迂回和往返運(yùn)輸。車(chē)間的地面要用堅(jiān)固、防滑、易清潔、不滲水、耐腐蝕的材料鋪制;墻面則要鋪有2米以上的墻裙,墻面用耐腐蝕、易清洗消毒、堅(jiān)固、不滲水的材料鋪制及用淺色,防水、無(wú)毒、不易脫落、防霉、可清洗的材料覆涂。