光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
無(wú)塵車間的潔凈度往往受到氣流的影響,即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。無(wú)塵車間所利用過(guò)濾器過(guò)濾空氣,其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多,因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而潔凈室內(nèi)除了人以外,尚有機(jī)器等之發(fā)塵源,這些塵埃一旦擴(kuò)散便無(wú)法保持潔凈空間,因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。為了防止再次進(jìn)入和往返作業(yè)對(duì)無(wú)塵車間造成交叉污染,人員在作業(yè)中途和作業(yè)寬畢均應(yīng)按規(guī)定的順序退出無(wú)塵車間。
隨著現(xiàn)代化生產(chǎn)的發(fā)展及工業(yè)技術(shù)的升級(jí)換代,對(duì)于無(wú)塵清潔生產(chǎn)及其環(huán)境的要求越來(lái)越高,比如無(wú)塵車間要求車間地坪要耐腐蝕、潔凈和耐磨,室內(nèi)空氣含塵量盡量的低,有很多無(wú)塵車間凈化廠房,還要求地面具備防靜電和防1菌抑菌性能。除了工業(yè)生產(chǎn)凈化廠房對(duì)室內(nèi)凈化程度要求外,很多科研、教學(xué)、實(shí)驗(yàn)、醫(yī)院也對(duì)室內(nèi)空氣凈化程度有很高要求。