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十萬(wàn)級(jí)無(wú)塵車(chē)間的監(jiān)測(cè)
1、無(wú)塵車(chē)間系統(tǒng)的監(jiān)測(cè)主要是過(guò)濾器的更換周期，還有無(wú)塵車(chē)間對(duì)環(huán)境的濕度、溫度、新鮮空氣量、狀態(tài)、照度等都有嚴(yán)格的規(guī)定，保證了產(chǎn)品的生產(chǎn)質(zhì)量和人員工作環(huán)境的舒適。
2、整個(gè)無(wú)塵車(chē)間系統(tǒng)配有一套采用初效、中效、過(guò)濾器的三級(jí)空氣凈化系統(tǒng)，控制潔凈區(qū)內(nèi)塵粒數(shù)等。作為末端過(guò)濾裝置過(guò)濾器決定著整個(gè)凈化系統(tǒng)的運(yùn)行效果，無(wú)塵車(chē)間裝修因此對(duì)于過(guò)濾器的更換時(shí)間是非常重要的。
3、在無(wú)塵車(chē)間的裝修里，無(wú)論是安裝在凈化空調(diào)機(jī)組末端的大風(fēng)量空氣過(guò)濾器還是安裝在送風(fēng)口的空氣過(guò)濾器，這些必需要有準(zhǔn)確性的運(yùn)行時(shí)間記錄和潔凈度及風(fēng)量作為更換依據(jù)，如在常態(tài)的使用情況下，過(guò)濾器的使用壽命可以長(zhǎng)達(dá)一年以上。
無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)對(duì)于濕度控制是非常重要的條件之一，無(wú)塵車(chē)間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對(duì)濕度。半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
千級(jí)無(wú)塵車(chē)間代表什么意思? 每立方將低于0.5μm粒度的微塵總數(shù)操縱在3500個(gè)下列，就做到了國(guó)際性潔凈標(biāo)準(zhǔn)的A1級(jí)?，F(xiàn)階段運(yùn)用在芯片級(jí)生產(chǎn)制造的潔凈標(biāo)準(zhǔn)針對(duì)塵土的規(guī)定高過(guò)A1級(jí)，那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運(yùn)用在一些級(jí)別較高芯片生產(chǎn)上。微塵總數(shù)被嚴(yán)格控制在每立方1000個(gè)之內(nèi)，這也就是說(shuō)業(yè)界別名級(jí)別中的千級(jí)。 千級(jí)無(wú)塵車(chē)間的標(biāo)準(zhǔn)，微塵總數(shù)被嚴(yán)格控制在每立方1000個(gè)之內(nèi)，這也就是說(shuō)業(yè)界千級(jí)無(wú)塵車(chē)間的含意。（1000級(jí)的定義是：每立方英寸內(nèi),大于0.5的塵土顆粒物不可以超出1000顆）。 無(wú)塵車(chē)間級(jí)別標(biāo)準(zhǔn)劃分 潔凈室等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)ISO14644依據(jù)飄浮粒子濃度值這唯1指標(biāo)值來(lái)劃分凈化室(區(qū))及有關(guān)控制計(jì)劃自然環(huán)境中氣體潔凈度等級(jí)的級(jí)別，而且僅考慮到粒度限制值(下限)0.1um～0.5um范圍之內(nèi)總計(jì)遍布的粒子群。
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