凈化車間材料是凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點為美觀、剛性強、保溫性能好、易施工。圓弧墻角、門、窗框等一般采用氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高1級耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板。
無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一,無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
無塵車間能夠分成下列好多個級別:1級、百級、千級、萬級、十萬級、三十萬級、百1萬級。 每立方將低于0.5微米粒度的微塵總數(shù)操縱在3500個下列,就做到了國際性無塵規(guī)范的A1級?,F(xiàn)階段運用在射頻收發(fā)器生產(chǎn)制造的無塵規(guī)范針對塵土的規(guī)定高過A1級,那樣的高標(biāo)準(zhǔn)關(guān)鍵被運用在一些級別較高芯片生產(chǎn)上。微塵總數(shù)被嚴(yán)控在每立方1000個之內(nèi),這也就是業(yè)界別名級別中的萬級。 無塵車間詳細地址的挑選應(yīng)合乎有益生產(chǎn)制造、便捷生活、節(jié)約項目投資和經(jīng)營費用的標(biāo)準(zhǔn)。無塵車間與交通出行主干路間隔宜50米之上。