1、空氣處理效果好,因空氣經(jīng)過集中處理,在送風(fēng)過程中被污染程度較低。送風(fēng)的溫度、濕度的控制比較精準(zhǔn);
2、比較適用于有集中冷源的或是較大的廠房;
3、空調(diào)冷熱源可與廠房普通空調(diào)系統(tǒng)合用或獨(dú)立冷熱源;
4、維修頻率較低;
5、車間的噪音低。
萬級凈化車間規(guī)范包含以下幾點(diǎn):1、細(xì)顆粒物較大容許數(shù)(每立方);2、大或相當(dāng)于0.5微米的粒子數(shù)不可超出350000個,大或相當(dāng)于5微米的粒子數(shù)不可超出2000個;3、微生物菌1種較大容許數(shù);4、菌數(shù)不可超出一百個每立方;5、菌數(shù)不可超出三個每培養(yǎng)液。6、壓差:同樣潔凈室等級的潔凈室壓差保持一致,針對不一樣清潔級別的鄰近潔凈室中間壓差要≥5Pa,潔凈室和非潔凈室中間要≥10Pa。千級凈化車間對溫度、環(huán)境濕度無特別要求時,以衣著潔凈服不造成舒適感為宜,溫度一般操縱在冬天20~22℃;夏天24~26℃;起伏±2℃。冬天潔凈室環(huán)境濕度操縱在30-50%,夏天潔凈室環(huán)境濕度操縱在50-70%。7、配電設(shè)備:潔凈室(區(qū))的關(guān)鍵生產(chǎn)制造用地一般光照強(qiáng)度值宜≥300Lx;輔助個人工作室、工作人員清潔和原材料清潔用室、氣閘室、過道等的光照強(qiáng)度值宜為200~300Lx。
無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一,凈化車間設(shè)計,無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。