無(wú)塵車(chē)間生產(chǎn)對(duì)于濕度控制是非常重要的條件之一,凈化車(chē)間裝修,無(wú)塵車(chē)間、潔凈室運(yùn)作過(guò)程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對(duì)濕度。半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室中的典型的相對(duì)濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
無(wú)塵車(chē)間的室內(nèi)裝修是一個(gè)十分具備專(zhuān)業(yè)性的工作中,它務(wù)必具有很好的潔凈度,有一些地區(qū)還必須具備防火安全防污、隔熱保溫等規(guī)定,凈化車(chē)間設(shè)計(jì),因而無(wú)塵車(chē)間在室內(nèi)裝修時(shí)必須有對(duì)這一制造行業(yè)具備極高掌握水平的專(zhuān)業(yè)人員,專(zhuān)業(yè)人員還必須對(duì)常用的原材料有十分深層次的掌握,那樣才能夠 保證真實(shí)實(shí)際意義上的“潔凈”。在車(chē)間內(nèi)理應(yīng)設(shè)定原料間、制做間、半成品加工儲(chǔ)放間、包裝間、庫(kù)房、檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室、存儲(chǔ)間,這種室內(nèi)空間都必須采用一萬(wàn)級(jí)空氣凈化規(guī)范,別的試驗(yàn)室、罐裝間更衣間等必須采用十萬(wàn)級(jí)空氣凈化規(guī)范,每個(gè)取貨封閉式單獨(dú),避免交叉式環(huán)境污染,保證全部護(hù)膚品安全性零污染,確保商品zui好質(zhì)量。
凈化車(chē)間主要作用在于控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,以保證產(chǎn)品質(zhì)量,此空間我們稱(chēng)之為凈化車(chē)間。潔凈區(qū)的主體結(jié)構(gòu)不宜采用內(nèi)墻承重,主體結(jié)構(gòu)的耐久性需要與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào),并具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷的性能;潔凈室頂棚,墻面和地板的材料必須是不易破1裂、不易沾顆粒,以及幾乎不起塵的。另外根據(jù)房間不同的工作條件,還必須考慮材料的化學(xué)性能是否穩(wěn)定;潔凈室的高度以?xún)舾呖刂?,凈高?yīng)以100mm為基本模數(shù);凈化車(chē)間廠房的變形縫應(yīng)盡量避免穿過(guò)潔凈區(qū);送、回風(fēng)管和其他管線需暗敷時(shí),應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等。