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無塵車間廠房位置選擇應(yīng)符合下列規(guī)定，并經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)方案比較后確定：1、應(yīng)在大氣含塵和有害氣體濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域2、應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體的工廠、倉儲、堆場等有嚴(yán)重空氣污染，振動或噪聲干擾的區(qū)域，當(dāng)不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時，應(yīng)位于1大頻率風(fēng)向上風(fēng)側(cè)，或全年小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè)3、應(yīng)布置在廠區(qū)內(nèi)環(huán)境清潔，人1流、物流不穿越或少穿越的地段4、對于兼有微振控制要求的無塵車間廠房的位置選擇，應(yīng)實(shí)際測定周圍現(xiàn)有振源的振動影響，并應(yīng)與精密設(shè)備，浙江無菌室，精密儀器儀表容許振動值分析比較后確定5、無塵車間廠房新風(fēng)口與交通干道邊沿的近距離宜大于50M6、無塵車間廠房周圍宜設(shè)置環(huán)形消防車道，也可沿廠房的兩個長邊設(shè)置消防車道7、無塵車間廠房周圍的道路面層應(yīng)選用整體性能好，發(fā)塵少的材料8、無塵車間廠房應(yīng)進(jìn)行綠化，可鋪植草坪，不應(yīng)種植對生產(chǎn)有害的植物。
凈化車間主要作用在于控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，以保證產(chǎn)品質(zhì)量，此空間我們稱之為凈化車間。潔凈區(qū)的主體結(jié)構(gòu)不宜采用內(nèi)墻承重，主體結(jié)構(gòu)的耐久性需要與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào)，并具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷的性能；潔凈室頂棚，墻面和地板的材料必須是不易破1裂、不易沾顆粒，以及幾乎不起塵的。另外根據(jù)房間不同的工作條件，還必須考慮材料的化學(xué)性能是否穩(wěn)定；潔凈室的高度以凈高控制，凈高應(yīng)以100mm為基本模數(shù)；凈化車間廠房的變形縫應(yīng)盡量避免穿過潔凈區(qū)；送、回風(fēng)管和其他管線需暗敷時，應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等。
光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給于特別設(shè)計之密閉空間。
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