無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一,無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內,允許誤差在±1%的狹窄的范圍內,例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。
無塵凈化車間的空調機組的選擇:1.空調機組要根據(jù)末端需要的冷量總數(shù)得出空調機組的冷量。2.末端空調箱的選擇就要根據(jù)潔凈等級風量還有房間內消防熱負荷風量來確定送風量。 空調機組選型步驟:A.估算或計算冷負荷估算總冷負荷,或通過有關的負荷計算法進行計算。B.估算或計算熱負荷估算總熱負荷,或通過有關的負荷計算法進行計算。C.初定機組型號根據(jù)總冷負荷,初次選定機組型號及臺數(shù)D、確定機組型號根據(jù)總熱負荷,校核初定的機組型號及臺數(shù)。并確定機組型號。
無塵車間潔凈廠房內各無塵車間潔凈室的空氣潔凈度等級應滿足生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的潔凈要求,寧波潔凈車間,一般有如下規(guī)定,1、應根據(jù)空氣潔凈度等級的不同要求,選用不同的氣流流型。 2、下列情況之者,其凈化空調系統(tǒng)宜分開設置:(1)、運行班次或使用時間不同。(2)、生產(chǎn)工藝中某工序散發(fā)的物質或氣體對其他工序的產(chǎn)品質量有影響。(3)、對溫、濕度控制要求差別大。(4)、凈化空調系統(tǒng)與一般空調系統(tǒng)。