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無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運(yùn)作過程中一個(gè)常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi)，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi)，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
根據(jù)美國施行的規(guī)范，可將無塵車間分成六級(jí)。各自是一級(jí)、十級(jí)、百級(jí)、千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)：一級(jí)≥百級(jí)≥萬級(jí)≥千級(jí)≥十萬級(jí)≥上百1萬級(jí)。越排前，級(jí)別越高，一級(jí)是級(jí)別1大的。普遍的是百級(jí)到十萬級(jí)。一級(jí)的無塵車間主要用于制造集成電路芯片的電子光學(xué)工業(yè)，對集成電路芯片的精準(zhǔn)規(guī)定為亞μm。十級(jí)的無塵車間主要用于網(wǎng)絡(luò)帶寬低于2μm的半導(dǎo)體材料工業(yè)。百級(jí)是常見的。因而是關(guān)鍵的無塵車間，大家經(jīng)常不正確地將百級(jí)凈化室稱之為無菌車間，以表明“無菌檢測”的或“潔凈”的自然環(huán)境規(guī)定，手術(shù)室無菌室，百級(jí)潔凈室可用于藥業(yè)工業(yè)的無菌檢測制造加工工藝等，這一凈化室很多應(yīng)用于，植如身體物件的制造，干細(xì)胞無菌室，手術(shù)，包含移植術(shù)，集成器的制造，這些對細(xì)菌1性1感1染比較敏感的患者的防護(hù)醫(yī)1治，例如像骨1髓移植患者手術(shù)后的防護(hù)醫(yī)1治。千級(jí)的無塵車間主要用于高品質(zhì)電子光學(xué)商品的生產(chǎn)制造，湖州市無菌室，還用于檢測，裝配線飛機(jī)場蛇螺儀，裝配線高品質(zhì)微型軸承等。千級(jí)無塵車間用于液壓機(jī)械或標(biāo)準(zhǔn)氣壓機(jī)器設(shè)備的裝配線，一些狀況下也用于食品工業(yè)工業(yè)，除此之外，千級(jí)無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常見。十萬級(jí)無塵車間用于許多的工業(yè)單位，例如電子光學(xué)商品的制造，用于較小的電子器件制造大中型的電子技術(shù)，液壓機(jī)或標(biāo)準(zhǔn)氣壓系統(tǒng)軟件的制造，食品工業(yè)的生產(chǎn)制造，醫(yī)1藥工業(yè)也經(jīng)常應(yīng)用這一級(jí)無塵車間。
無塵車間在設(shè)計(jì)時(shí)一定要符合生產(chǎn)工藝過程的要求。不管是上工序還是下工序，兩者間的運(yùn)輸距離要短，盡量避免迂回和往返運(yùn)輸。車間的地面要用堅(jiān)固、防滑、易清潔、不滲水、耐腐蝕的材料鋪制；墻面則要鋪有2米以上的墻裙，墻面用耐腐蝕、易清洗消毒、堅(jiān)固、不滲水的材料鋪制及用淺色，防水、無毒、不易脫落、防霉、可清洗的材料覆涂。
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